Ce document s'étend de l'importance et de l'urgence de promouvoir le développement de l'industrie des circuits intégrés à la technologie clé de contrôle du contrôle de la contamination environnementale de surface des plaquettes de yeid IC (SECC).Récemment, l'IRDS 2020 a clairement avancé l'exposé clé sur l'amélioration du rendement, soulignant que la contamination moléculaire aéroportée (AMC) est un facteur important provoquant des défauts aléatoires dans les plaquettes, et cet effet deviendra plus grave avec la diminution de la largeur de ligne des plaquettes. Dans cet article, les exigences technologiques pour le contrôle de la contamination environnementale de surface de 2021 à 2027 sont répertoriées selon la concentration de contrôle admissible de différents polluants atmosphériques dans chaque processus de production, elle est exprimée en ppTV. En raison de la norme de contrôle stricte, il est nécessaire que la conception du système de ventilation de contrôle de la pollution chimique dans les salles blanches et les environnements contrôlés associés, sélection de filtre chimique, exigences de réglage et de performance. Il doit être effectué strictement selon la norme. En outre, les indicateurs de performance du filtre chimique à air, le banc d'essai du filtre et la procédure de test de la norme ASHRAE 145.2-2016 et d'autres contenus sont présentés.

Ou pourrions-nous réaliser les rêves de nettoyage en essuie-glaces pour salles blanches ? Je pense que la réponse est OUI.